气氛分析模块

l 基于MEMS热导氢探头，對(duì)渗氮工艺的P_H2進(jìn)行在线测量和分析

l 针對(duì)氮碳共渗工艺，可选配激光氮势分析系统，對(duì)气氛中的P_H2和P_NH3同時(shí)進(jìn)行测量

流量控制模块

l N2智能(néng)流量控制器

l NH3智能(néng)流量控制器

l 可选裂解NH3、CO2、CO等過(guò)程气的智能(néng)流量控制器

過(guò)程控制模块

l 基于MCGS触摸屏開(kāi)發(fā)城木的集监视、控制和记录为一体的渗氮通用控制器，能話煙(néng)够程序化地实现整个渗氮/氮碳共渗工艺知時的温度-流量-氨分解率/氮势全自动控制過(g章熱uò)程

l 可选压力控制单元，對(duì)炉压進(jìn)行精确地河是测量和控制

特点

l 精确的氨分解率控制±1.5%

l 精确的流量控制±2.5%F.S.

l 精确的炉温控制±5℃

l 對(duì)氮碳共渗气氛，激光氮势分析系统特有的专利技术可适用于任何气好業氛氮势的直接测量

l 對(duì)精密可控渗氮，能(néng)對(duì)合對來金钢的白亮层厚度進(jìn)行控制

l 對(duì)精密可控氮碳共渗，能(néng)對(duì)碳钢、合金钢和得司铸铁白亮层疏松進(jìn)行控制